SF6氣體檢漏儀的靈敏度、反應(yīng)時(shí)間及恢復(fù)時(shí)間是鹵素檢漏儀的主要性能參數(shù)，其測(cè)試方法與氦質(zhì)譜檢漏儀的相同。但是，SF6氣體檢漏儀的指示與氣體的濃度有關(guān)：一般，低濃度的指示是線性的，中等濃度的是非線性的，而當(dāng)濃度很高時(shí)儀器出現(xiàn)飽和或中毒現(xiàn)象。所以在進(jìn)行性能測(cè)試或檢漏時(shí)，進(jìn)進(jìn)傳感器的鹵素氣體的濃度不宜高于百萬分之一。使離子在進(jìn)進(jìn)第二個(gè)分析器前再次被加速。那些與氦離子動(dòng)量相同的非氦離子，固然可以通過*個(gè)分析器，但是，經(jīng)第二次加速進(jìn)進(jìn)第二個(gè)分析器后，由于其動(dòng)量與氦離子的不同而被分離出來。由于二次分離，儀器本底及本底噪聲明顯地減小，進(jìn)步了儀器靈敏度。

    SF6氣體檢漏儀的工作方式是電源帶動(dòng)氣泵對(duì)待測(cè)區(qū)域的氣體進(jìn)行抽氣采樣，然后將樣氣送入儀表進(jìn)行檢測(cè)。分析儀的特點(diǎn)是檢測(cè)速度快，對(duì)現(xiàn)對(duì)危險(xiǎn)的區(qū)域可進(jìn)行遠(yuǎn)距離測(cè)量，維護(hù)人員安全，其它和氣體檢測(cè)儀一樣。在工業(yè)裝置上和生產(chǎn)過程中使用較多的檢測(cè)儀。記錄儀它可以安裝在特定的檢測(cè)點(diǎn)上對(duì)特定的氣體泄漏進(jìn)行檢測(cè)。固定式檢測(cè)器一般為兩體式，有傳感器和變送器組成的檢測(cè)頭為一體，安裝在檢測(cè)現(xiàn)場，有電路、電源和顯示報(bào)警裝置組成的二次儀表為一體安裝在安全場所，這樣便于監(jiān)視。 漏點(diǎn)預(yù)定位是指聽漏棒、電子聽漏儀及噪聲自動(dòng)記錄儀來探測(cè)供水管道漏水的方法，根據(jù)使用SF6氣體檢漏儀的不同，預(yù)定位技術(shù)主要有閥栓聽音法和噪聲自動(dòng)監(jiān)測(cè)法。特別適用于環(huán)境干擾噪聲大、管道埋設(shè)太深或不適宜用地面聽漏法的區(qū)域，用相關(guān)儀可快速準(zhǔn)確地測(cè)出地下管道漏水點(diǎn)的*位置。